苏亚雷斯出任国🔞安主帅🚩BROOKS 質量流量控制器 GP200系列 - 流量計

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BROOKS 質量流量控(kong)制器 GP200系列簡(jiǎn)介
所有的表(biao)現。沒有任何(hé)限制。
GP200 系列是(shì)第一款完全(quan)不敏感的基(jī)于壓力的質(zhì)量流🚶‍♀️量🏃🏻控制(zhi)器 (P-MFC)，專為半導(dǎo)體制造中的(de)先進蝕刻和(hé)沉積工藝而(ér)設計。
GP200 系列 P-MFC 采(cai)用技術架構(gòu)，克服了傳統(tǒng) P-MFC 的局限性，即(ji)使在輸送低(dī)⛹🏻‍♀️蒸氣壓工藝(yì)氣體時也能(neng)提供最精确(què)的工藝氣體(ti)輸送。它包括(kuò)幾個🌈獨特的(de)設計方面，包(bāo)括與下遊閥(fa)門架構相結(jié)合🔞的集成壓(ya)差傳感器，可(kě)在行業中最(zui)廣泛的操作(zuò)條件下實🔞現(xian)最精确的工(gong)藝氣❤️體輸送(sòng)。
由于 GP200 系列支(zhi)持如此廣泛(fàn)的工藝條件(jian)，它可以用作(zuo)許多傳統🚩 P-MFC 和(hé)熱 MFC 的直接替(ti)代和升級。它(ta)降低了氣體(tǐ)輸送系統的(de)複㊙️雜性和擁(yōng)有成本，因為(wéi)它消除了對(dui)壓力調節器(qì)和傳感器🈲等(deng)組件的需求(qiú)。

特征
真正的(de)差壓測量
降(jiàng)低入口壓力(li)運行
下遊閥(fa)門結構
匹配(pei)的瞬态響應(yīng)
零洩漏控制(zhì)閥
MultiFlo TM技術提供(gong)了無與倫比(bǐ)的靈活性——一(yī)個設備可以(yǐ)針👉對數千種(zhong)不同的氣體(ti)和流量範圍(wei)配置進行編(biān)程，而無需從(cong)氣體管線中(zhong)移除 MFC 或影響(xiang)精度
本地顯(xiǎn)示顯示流量(liàng)、溫度、壓力和(he)網絡地址
DeviceNet TM、EtherCAT®、RS-485 L-Protocol 和(hé)模拟接口
好(hǎo)處
通過消除(chú)匹配和補償(chang)兩個獨立壓(yā)力傳感器的(de)要求🐇，GP200 差⭐壓技(jì)術降低了測(ce)量不确定性(xing)，從而提高了(le)準确性、可重(zhòng)複性和漂移(yí)性能。
由于專(zhuān)為低壓差測(cè)量而優化的(de) GP200 差壓傳感器(qi)，現在使用 P-MFC 可(kě)以在較低的(de)入口壓力下(xià)實現更安全(quán)的晶圓廠🛀🏻操(cāo)作。
下遊閥門(mén)結構确保精(jīng)度獨立于下(xià)遊壓力，使流(liu)量輸送到高(gāo)達 1200 Torr 的壓力。快(kuài)速關閉閥門(men)解決了上遊(yóu) MFC 閥門設🈲計中(zhōng)出現的非生(sheng)産性配方等(deng)待時間或“尾(wěi)部效應”，這些(xie)閥門需要額(e)外的時間來(lái)排出其内部(bù)氣🔴體體積。
超(chao)快、高度可重(zhong)複的上升和(hé)下降流動穩(wěn)定時間可在(zai)先進的高循(xun)環沉積和蝕(shí)刻工藝中實(shi)現更嚴格💞的(de)工藝控制。
閥(fa)門關閉性能(neng)提高 100 倍
使用(yong) MultiFlo TM，MFC 滿量程流量(liàng)範圍通常可(ke)以按 3:1 的系數(shù)重新按比例(li)🈲縮小，而不會(hui)影響精度、量(liang)程比或規格(ge)洩漏，以實現(xiàn)🔴最佳工藝和(he)庫存靈活性(xing)
方便的用戶(hù)顯示和獨立(lì)的診斷/服務(wu)端口有助于(yu)設備安裝、監(jian)控和故障排(pái)除
主要應用(yòng)
半導體制造(zao)
蝕刻
化學氣(qì)相沉積 (CVD)
需要(yao)高純度全金(jin)屬流路的氣(qi)流控制應用(yòng)